【摘 要】
:
单晶硅作为一种优良的红外光学材料,在集成电路、红外光学系统等领域应用广泛。由于单晶硅材料的脆性特性,常规车削过程中单晶硅易发生脆性断裂而使得已加工表面产生表面损伤等问题。激光加热辅助车削是改善难加工材料车削性能的有效方法,已在硬质合金、陶瓷等难加工材料的车削加工逐步应用,具有增加刀具使用寿命、提高工件表面质量的效果。本文研究工作就是基于以上背景展开,针对单晶硅材料,提出一种激光加热辅助单晶硅超精密
论文部分内容阅读
单晶硅作为一种优良的红外光学材料,在集成电路、红外光学系统等领域应用广泛。由于单晶硅材料的脆性特性,常规车削过程中单晶硅易发生脆性断裂而使得已加工表面产生表面损伤等问题。激光加热辅助车削是改善难加工材料车削性能的有效方法,已在硬质合金、陶瓷等难加工材料的车削加工逐步应用,具有增加刀具使用寿命、提高工件表面质量的效果。本文研究工作就是基于以上背景展开,针对单晶硅材料,提出一种激光加热辅助单晶硅超精密车削技术,重点围绕单晶硅激光加热温度及热应力仿真、激光加热辅助车削温度测试、激光加热辅助单晶硅超精密车削试验等方面进行探讨。主要研究内容包括:(1)单晶硅激光加热温度与热应力仿真。建立激光加热单晶硅温度场模型,针对激光功率、主轴转速对单晶硅表面及内部温度场分布的影响规律进行仿真分析,得出单晶硅内部温度与传热深度之间的关系;最后,分析激光功率、主轴转速等对单晶硅表面热应力的影响。(2)激光加热辅助车削试验平台与温度检测。为验证激光加热单晶硅温度场仿真模型正确性,构建激光加热辅助车削试验系统,采用高速红外测温仪对单晶硅工件进行测温试验,分析不同激光功率、主轴转速、进给速度等条件下工件表面加热区域温度变化规律,对比分析温度场仿真值与实际测量值之间的关系。试验结果表明:实际测量温度值与温度场仿真值变化趋势基本吻合。(3)激光加热辅助单晶硅超精密车削试验研究。对比分析常规车削与激光加热辅助单晶硅超精密车削过程中切削力、切削形态、刀具磨损、表面损伤及粗糙度等方面的差异;研究不同激光功率、主轴转速、背吃刀量、进给速度等条件对切削力、刀具磨损、单晶硅表面损伤及粗糙度等的影响规律。最后,得到激光加热辅助单晶硅超精密车削的优选加工参数。
其他文献
本课题综述了双马来酰亚胺树脂(BMI)增韧改性的主要方法及最新研究进展,主要包括胺类化合物改性、烯丙基化合物改性、橡胶改性、石墨烯改性、热塑性树脂改性、热固性树脂改性等
邻苯二甲酸二乙酯(Diethyl Phthalate,DEP)作为增塑剂被广泛地应用于各种塑料产品中。但由于DEP缺少与塑料分子相结合的共价键,导致其极易从塑料产品中释放进入环境。目前各种环境介质中均检测到DEP的存在,且随着工业化高速发展其环境积累浓度越来越高。同时,食物也受到了不同程度的DEP污染。长期暴露于受DEP污染的环境导致生物体内也出现DEP富集现象。DEP作为一种环境激素类物质,能干
本文通过31个省2010-2017数据的面板模型检验金融、教育、基础设施建设、财政支农、及社会保障等扶贫方式的减贫效果,结果发现除社会保障不能起到减贫效果外,其余扶贫方式都能起到显著作用。在当前脱贫攻坚的关键时期,此结论对于各地找寻有效的扶贫方式和政策组合,具有重要的现实指导意义。同时本文在此结果上又继续从以下四个方面展开研究:(1)为进一步探究五种扶贫方式中哪种扶贫方式减贫效率更高,采用主成分分
2008年金融危机,充分体现了金融系统“时间”方面的顺周期性和“空间”方面的复杂关联性。有学者提出对影子银行的监管不充分是本次危机发生的重要原因。近年来我国影子银行不断发展,“银行中心”特征明显,拓宽社会融资渠道的同时,暴露出监管不到位、高杠杆率和高关联性等问题。一方面,影子银行的高杠杆经营方式,加剧了金融系统的脆弱性和金融风险积累;另一方面,影子银行具有信用中介功能,并与银行等机构有密切的资金和
目的:本研究通过观察经皮耳迷走神经刺激(Transcutaneous Auricular Vagus Nerve Stimulation,taVNS)对功能性消化不良(Functional Dyspepsia,FD)患者的治疗效果,并同时运用影像学静息态功能磁共振成像(Functional Magnetic Resonance Imaging,fMRI)技术,观察受试者治疗前后全脑血流动力学即时变
近年来随着建筑业的快速发展,施工技术水平也不断提升,但是工程质量安全事故率却一直居高不下。这使得建设工程质量安全管理成为一个社会热点问题。政府监督部门、监理单位、施工单位是建设工程质量安全管理中的重要参与者。为了提高建设工程质量安全管理水平,本文首先阐述了国内外学者对政府监督部门、监理单位及施工单位在建设工程质量安全管理中的研究现状。而后详细阐述了政府监督部门、监理单位及施工单位在建设工程质量安全
中国每年新增脑卒中患者数量庞大,许多患者因为脑卒中出现肢体运动功能丧失,给生活带来诸多不便。康复机器人作为新兴的康复治疗手段替代康复治疗师带动患者手臂运动实现被动
作为引领企业发展的第一动力,创新既是国家经济发展的核心竞争力,也是转变企业发展方式、提升科技生产力的重要手段,更是驱动未来经济增长的重要引擎。只有不断创新,企业才能实现长远发展,从而推动我国经济实力的提升。在国家日益关注创新、大力倡导创新的背景下,国家在创新的建设过程中必须要关注企业所处的政治环境对其创新策略的影响。经济政策具有不确定性,直接影响企业所处的宏观经济环境,进一步影响企业生产经营活动,
近年来兰花的消费呈现出以家庭消费为主的趋势。本试验选取适用于家庭种养的部分兰科花卉资源开展了生物学特性观察与繁育技术方面较深入的研究,为今后东莞市兰花种质资源选
技术进步的偏向方向是影响宏观经济增长和产业结构变迁的重要因素,但鲜有文献就房价过快上涨这一社会关注的热点问题对技术进步偏向方向的影响进行探究。文章构建了相对房价和轻重产业结构内生化技术进步偏向的模型。首先,在CES总量生产函数设定下,根据标准化供给面系统的方法,定量估计出1998-2016年间中国28个省区的技术进步偏向指数,估计显示中国大部分省区要素替代弹性小于1,资本与劳动总体呈现互补关系,中