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压电陶瓷驱动器是一种利用压电陶瓷逆压电效应工作的微驱动器,具有体积小、分辨率高、响应快等优点,被广泛应用于精密制造、航空航天、微定位和超声电机等领域。压电陶瓷驱动器本身所固有的迟滞非线性特性是制约其驱动精度的主要原因,这种非线性不仅削弱了定位精度,而且有可能造成系统的不稳定。在分析压电陶瓷驱动器非线性特性的基础上,研究具有非线性补偿功能的压电陶瓷驱动电源是减小驱动器迟滞非线性的影响,提高精密定位精度的有效方法,这也是目前压电陶瓷驱动电源领域的研究热点之一。为了分析压电陶瓷驱动器的动态迟滞非线性特性,