本文介绍了打印机的分类及不同类型的打印原理,并提出了一种新型喷墨打印头的结构设计。使用COMSOL模拟仿真软件对结构中的振动板厚度以及PZT与振动板宽度的比例进行了优化。新型喷墨打印头采用的是振动结构与腔室一体化成型的制作工艺流程。减少了工艺过程中对于高精度对准设备的依赖性,并于整体上降低了器件的制作成本。PZT压电材料作为振动板结构中的动力部件,通过压电材料的压电效应将电能转化成为机械能。振动板采用四边固定的类型,当振动板发生振动时,会使腔室的体积发生变化。配以供墨通道处的限流结构,可使腔室中的墨水喷出腔室,从而达到喷墨的目的。详细描述了包括PZT前驱体溶液配制在内的喷墨头各组成部分的各项工艺操作。并解决了采用溶胶-凝胶法制备PZT薄膜时出现的薄膜开裂与生成碳化颗粒的问题。提升了PZT压电薄膜的性能与薄膜质量。使用了PECVD的方式制备了氮化硅薄膜作为振动板的组成部分。并通过对制备过程中的基体温度、射频功率以及气体的流量这三个囚素的调节沉积出优质的氮化硅薄膜。结构制作完成后使用多普勒激光测试仪对振动板的振动情况进行了测试和分析,并通过振动的分析对结构设计的各项参数进行了调整。搭建了墨滴喷射测试平台,对喷射出的墨滴进行了各项测试,验证了结构的可行性。文中还提出了不同结构的喷墨打印头的设计,介绍了制备时的工艺操作流程。对制作过程中出现的问题进行了分析并尝试去解决。通过对结构的分析和制作过程进行比较,分析并得出各种结构的优缺点。