目前气体静压轴承技术的研究已经成为超精密机械加工技术中的至关因素,而气膜场参数探究是气体静压轴承技术突破的关键。本文针对国内外气体静压节流器气膜场参数测量装置缺少且自动化程度低的问题,研制出一种气膜场参数自动测量的高精度测量仪,并测量和分析了气膜场的参数分布。主要研究工作如下:(1)分析了平面静压节流器气膜场参数探究装置的整体功能,明确了气膜场的主要测量参数以及技术指标,并完成了总体方案设计。(2)设计并搭建了用于气膜场参数测量的机械装置和硬件电路。通过节流器的安装与移动装置、工作平台导轨的尺寸与承载力、传感器的尺寸与安装和整体装置的调平等机械因素以及结合实际传感器选型、二维电动导轨以及工作平台运动轨迹等硬件电路因素,设计最优的装置方案并实施。(3)设计并测试了气膜场参数测量软件。采用上位机和下位机混合编程方式,完成了参数测量和显示以及保存、二维工作平台运动控制以及触控显示屏界面等下位机软件和二维参数分布图生成等上位机软件的设计与测试。(4)完成了测量平台的安装与调试,并进行了气体平面静压节流器气膜场参数探究实验。调试结果表明装置回程误差以及工作平台移动间距满足工作要求。实验结果表明气膜场节流孔处压力、均压槽处压力以及其余部分压力依次减小,并且随着气膜厚度增大气膜场整体压力呈现减小趋势;气膜场中节流孔处温度较于其余部分呈现骤降趋势,并且随气膜厚度增大气膜场整体温度呈现下降趋势。