随着航空航天、汽车制造、生物医疗等科技领域的不断发展,微尺度结构的作用越来越大,其中微小孔及阵列孔是最基本也是最能体现加工技术水平的一种微结构。伴随着二十一世纪工业的快速发展,微尺度加工技术得到迅猛的提升,其中电火花加工技术以其加工过程中无宏观作用力,不受材料本身强度、刚度和硬度等物理属性的限制,在微尺度加工领域一直是解决相关问题最有效的方法。本课题通过自主搭建高精密防水回转机构实现了利用低速走丝电火花线切割机床进行微回转零件的加工,基于电火花加工原理制备出了不同结构的微细圆柱电极、微细螺旋电极和阵列电极,并开展了微小孔及微阵列孔的加工工艺实验研究,为高质量、高效率和低成本微孔及微阵列孔的加工提供理论参考。本文主要研究内容如下:（1）开展微小孔及微阵列孔加工过程中的间隙流场的仿真研究。基于ANSYS FLUENT软件对微细圆柱电极、微细螺旋电极和阵列电极在微孔和微阵列孔加工过程中的间隙流体及流体内部的电蚀产物的运动进行了仿真研究。通过对单微孔和阵列孔间隙流体进行了建模,利用动网格技术模拟仿真了电极的上下抬刀运动,分析电极结构参数和抬刀高度、抬刀速度等工艺参数对加工介质和电蚀颗粒产物运动规律的影响。（2）开展单电极和单微孔的加工工艺实验研究。利用低速走丝电火花线切割机床制备不同直径、不同长度的微细圆柱电极和螺旋电极,在镍基高温合金单晶零件上开展微孔加工工艺实验研究,通过实验分析电极的结构参数（如螺旋槽深度和螺距等）、抬刀速度、抬刀高度等对单微孔加工精度和加工质量的影响规律,并进行不同电极的损耗研究,得出加工工艺规律。（3）开展阵列电极和阵列微孔的加工工艺实验研究。利用电火花加工方法制备出方形和圆形阵列电极,探究不同的加工方式对电极的尺寸精度、表面质量和加工效率等方面的影响。开展阵列微孔的加工工艺实验研究,得出加工工艺参数（如抬刀速度、抬刀高度等）对阵列微孔加工精度、质量和一致性的影响规律,给出最佳的工艺方案。（4）开展异形微孔和微阵列结构的加工工艺实验研究。制备出阶梯形电极和D字形电极并进行异形微孔加工工艺实验。制备出矩形微阵列电极并进行矩形阵列槽的加工。同时,充分利用单电极以实现在微铣刀后刀面上微阵列凹坑结构的加工。