近年来，随着测温需求的不断变化，对测量范围、精度、响应速度及安装方式等方面的要求也在不断地提高。薄膜热电偶逐渐成为微、小尺度集成式传热测试领域的重要研究方向之一。目前，薄膜热电偶传感器材料单一、使用温度低，难以用于高温段的测量；薄膜制备的效率低、成本高，薄膜温度传感器难以产品化；这些问题都成为了阻碍薄膜热电偶微型化、集成化、精密化发展的桎梏。本课题以传感器的工作温度、精度、一致性、重复性及响应速度等为设计指标，通过研究传感器的热电转换机理、热电偶结构、热电极材料、加工工艺及性能评价方法等关键问题，基于塞贝克效应原理，实现响应快、准确度高，制备工艺简单高效、适合推广的薄膜传感器的研制。本文的主要研究内容有：1.分析温度传感器的工作机理，确定传感器材料，如电极材料及补偿导线材料等；分析热电偶不同结构的特点，对传感器结构、版图及掩膜等进行设计。2.分析现有薄膜加工工艺的特点及弊端，提出基于电子印刷工艺的薄膜制备方法，完成薄膜传感器的制备。3.通过比较法进行静态标定，评估所制备薄膜热电偶传感器的静态特性指标；利用激光脉冲进行动态标定，评估传感器的动态响应时间。实验结果表明：该工艺可以安全、高效、快速、成批的制备薄膜传感器；选用金、铂材料制备的薄膜热电偶传感器工作温度宽，传感器最大误差约为0.88%，传感器重复性达到99.51%，符合检定规程的要求；动态响应能力好，时间常数能够达到1.64ms。