【摘 要】
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航天航空精密轴承失效的主要原因是其工作表面被磨损和腐蚀,采用先进的表面改性手段可强化其工作表面,提高轴承工作可靠性,延长其使用寿命.等离子体浸没离子注入(Plll)由于克
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航天航空精密轴承失效的主要原因是其工作表面被磨损和腐蚀,采用先进的表面改性手段可强化其工作表面,提高轴承工作可靠性,延长其使用寿命.等离子体浸没离子注入(Plll)由于克服了传统束线离子注入的视线限制,因而能快速地、经济地处理各种复杂形状的工作,从而为轴承的表面强化提供了理想的手段.该文首先采用金属和气体等离子体浸没离子注入技术,对9Cr18航天轴承表面改性工艺及注入均匀性进行了大量的理论和实验研究.首先从氮离子注入工艺入手,对氮Plll处理9Cr18轴承钢工艺进行了系统的研究.结果表明:经氮Plll处理后,9Cr18钢表面显微硬度提高了40%,表面摩擦系数由0.8降为0.1~0.3,磨痕宽度减小了9倍,表面耐蚀性也明显提高;9Cr18钢合适的氮离子注入剂量范围为3×10<17>~5×10<17>ions/cm<2>.XPS分析表明:氮离子注入后,9Cr18钢表面形成了大量的氮化物沉淀相,它是9Cr18轴承钢表面强化的主要原因.
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