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金属-铁电-半导体(MFS)复合膜由于它们可应用于金属-铁电-半导体场效应晶体管(MFSFET)、非破坏性读出铁电存储器(NDROFeRAM)、红外和紫外双色探测器、光电器件等领域,对其制备工艺以及性能研究愈加受到重视。本论文基于液相法(CSD),围绕ZnO、BaTiO_3(BTO)以及ZnO-BTO薄膜的生长与性能进行了系统的研究,并取得到一系列有意义的结果,主要包括以下内容:通过对ZnO薄膜生长的研究表明,其制备工艺对ZnO薄膜的结晶取向具有较大的影响。充足的氧气气氛有助于ZnO薄膜