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使用Langmuir单探针诊断技术,测量了小型潘宁离子源在氢气气氛下不同放电电流、不同轴向位置的Ⅰ-Ⅴ曲线.通过受限轨道运动理论,获得了等离子体电子温度、电子密度.并研究了等离子体电子温度和电子密度随放电电流、轴向位置的变化情况,对了解宏观参数与等离子体可变量之间的关系具有一定的指导意义.
潘宁源等离子体的Langmuir单探针诊断研究
【摘 要】
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使用Langmuir单探针诊断技术,测量了小型潘宁离子源在氢气气氛下不同放电电流、不同轴向位置的Ⅰ-Ⅴ曲线.通过受限轨道运动理论,获得了等离子体电子温度、电子密度.并研究了
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900
【出 处】
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四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会
【发表日期】
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2014年期
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