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本研究工作主要研制了一系列以双酚A为主体结构的新型分子玻璃化合物。其具有分子量小，单分散，热力学稳定，较高玻璃化转变温度(Tg)等优点，是理想的极紫外光刻胶主体材料。将其与产酸剂、有机碱及其他添加剂复配得到正像光刻胶溶液，具有很好的成膜性。利用上海应用物理研究所软X射线光刻线站(SSRF)进行极紫外(EUV)光刻实验研究，确定配方、旋涂、前烘、曝光、后烘及显影等光刻工艺参数，已得到高灵敏度(小于10mJ/cm2)、高分辨率(低于30nm光刻线宽)和低边缘粗糙度(LER小于2nm)的光刻图形。