【摘 要】
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本文报道了离子刻蚀前后氮化镓(GaN)薄膜的拉曼光谱,通过分析拉曼光谱中的E模和纵光学声子(LO)与等离子激元形成的耦合模(LPP)的高频支在离子刻蚀前后的变化,发现离子刻蚀后G
【机 构】
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山东大学信息科学与工程学院(济南)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
论文部分内容阅读
本文报道了离子刻蚀前后氮化镓(GaN)薄膜的拉曼光谱,通过分析拉曼光谱中的E<,2>模和纵光学声子(LO)与等离子激元形成的耦合模(LPP)的高频支在离子刻蚀前后的变化,发现离子刻蚀后GaN外延层的压缩形变应力得到释放,而且材料的载流子浓度也降低了.另外,对经过离子刻蚀的样品进行三种温度退火处理,再测其拉曼光谱,发现低温退火对恢复由离子刻蚀造成的GaN晶格损伤的作用不明显.
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