【摘 要】
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独立设计制作了一套气氛可控旋转加热处理炉系统,用于大面积高质量超导薄膜制备.在这套系统上,采用三氟乙酸金属有机物沉积(TFA-MOD)方法,在2英寸双面抛光LaAlO3单晶衬底上,
【机 构】
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清华大学物理系应用超导研究中心,北京,100084
【出 处】
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第九届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
论文部分内容阅读
独立设计制作了一套气氛可控旋转加热处理炉系统,用于大面积高质量超导薄膜制备.在这套系统上,采用三氟乙酸金属有机物沉积(TFA-MOD)方法,在2英寸双面抛光LaAlO3单晶衬底上,制备出的YBCO超导薄膜显示出很高的外延生长质量和超导特性.对于240nm厚的外延薄膜,临界电流密度分布非常均匀,平均值超过6MA/cm2(77K,0T),表面微波电阻在77K,10GHz条件下为0.3 mΩ左右.
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