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含氮ＣＺ硅的电学性能完全有别于含氮的ＦＺ硅和无氮的ＣＺ硅，研究表明，含氮ＣＺ硅能形成一种与氮有关的新施主，它随氮氧复合物的形成而形成，随氮氧复合物的消失而消失。文章进一步研究了氮－新施主的结构模型，并对氮－新施主的形成和消除与热处理条件的关系进行了探讨。
硅中的氮氧复合物及其施主行为
【摘 要】
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含氮ＣＺ硅的电学性能完全有别于含氮的ＦＺ硅和无氮的ＣＺ硅，研究表明，含氮ＣＺ硅能形成一种与氮有关的新施主，它随氮氧复合物的形成而形成，随氮氧复合物的消失而消失。文章进一步研究了氮－新施主
【机 构】
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大学硅材料科学院家重点实验室,浙江半导体技术有限责任公司
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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