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本文应用日立S-530型扫描电子显微镜对氧化铍陶瓷基片的金属化孔进行了显微研究和缺陷分析,旨在进一步提高金属化孔镀层的质量.
陶瓷电路基片孔金属化的显微形貌表征
【摘 要】
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本文应用日立S-530型扫描电子显微镜对氧化铍陶瓷基片的金属化孔进行了显微研究和缺陷分析,旨在进一步提高金属化孔镀层的质量.
【机 构】
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电子科技大学材料分析中心(四川成都)
【出 处】
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第十二届全国电子显微学会议
【发表日期】
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2002年期
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