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该文采用微波ＰＣＶＤ的方法：在Ｓｉ<,3>Ｎ<,4>或Ｓｉ基片上制备了掺硼金刚石膜。研究了热处理对这种金刚石膜电性能以及欧姆接触的影响。
热处理对掺硼金刚石膜电性能与欧姆接触的影响
【摘 要】
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该文采用微波ＰＣＶＤ的方法：在ＳｉＮ或Ｓｉ基片上制备了掺硼金刚石膜。研究了热处理对这种金刚石膜电性能以及欧姆接触的影响。
【机 构】
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科技大学信息材料工程学院
【出 处】
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第二届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1995年期
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