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本文介绍了用于X波段T/R组件中的低温共烧陶瓷埋置电阻器的制造工艺.讨论了低温共烧陶瓷工艺参数对电阻性能的影响.
LTCC埋置电阻器制造工艺研究
【摘 要】
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本文介绍了用于X波段T/R组件中的低温共烧陶瓷埋置电阻器的制造工艺.讨论了低温共烧陶瓷工艺参数对电阻性能的影响.
【机 构】
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南京电子技术研究所
【出 处】
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第十三届全国混合集成电路学术会议论文专辑
【发表日期】
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2003年期
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