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该文选用三种碳化硅陶瓷，通过实验研究了环境参数、磨粒性能，靶材性能等与冲蚀磨损率之间的关系，得出了影响冲蚀率的各主要因素。利用因次分析法得出的无因次量对实验结果进行了回归分析。获得了回归方程。并对实验结果作了分析，提出了粒靶硬度比（Ｈｐ／Ｈｔ）和冲蚀因子（Ｈｐｄ〈’１／２〉／Ｋ〈，ＩＣ〉）两个评价冲蚀性能的参数。