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作为一种新型的透射光栅,闪耀透射光栅集中了透射和反射光栅的优点,同时避免它们的缺点,衍射效率可高达50％.本文采用全息光刻和湿法刻蚀进行闪耀透射光栅的制作,针对制作工艺中的关键问题——晶向对准,设计了一套适用于单晶硅湿法刻蚀制作光栅的晶向对准方法,其总的误差约为0.176°.
闪耀透射光栅制作的晶向对准工艺研究
【摘 要】
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作为一种新型的透射光栅,闪耀透射光栅集中了透射和反射光栅的优点,同时避免它们的缺点,衍射效率可高达50％.本文采用全息光刻和湿法刻蚀进行闪耀透射光栅的制作,针对制作工艺中的关键问题——晶向对准,设计了一套适用于单晶硅湿法刻蚀制作光栅的晶向对准方法,其总的误差约为0.176°.
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心高温高密度等离子体物理国防科技重点实验室,绵阳621900 中国
【出 处】
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第五届全国高能量密度物理会议
【发表日期】
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2014年7期
其他文献
随着神光装置激光能量的增加,激光与等离子体相互作用引起的黑腔内环和外环激光耦合效率不同的问题日益严重.这直接导致了黑腔内辐射场驱动的不对称性,从而使后续的输运、内爆等物理过程失去了能够实现对称压缩的基础.另外,现有激光装置上降低背向散射光份额的束匀滑措施,如连续相位板技术(CPP)、光谱色散匀滑(SSD)以及极化匀滑(PS)等技术的实验效果也需要一个定量化的诊断手段.
太阳风是从太阳大气射出的高速运动等离子体带电粒子流.太阳表面有很强的磁场,而太阳风的磁雷诺数很高,使得磁场冻结在太阳风的等离子中,随着一起运动.当太阳风到达金星表面,受太阳风磁场作用,金星大气层会诱发产生磁场,阻碍太阳风进入金星表面.当金星附近磁场强度达到一定值,磁尾处会发生磁重联,磁场能量转化为粒子动能.
会议
Generation of enhanced dense attosecond electron bunches from ultra-intense laser interaction with a
Attosecond electron bunches can be applied in several fields such as in electron microscopy with temporal resolution of attosecond, generating x-ray pulse of attosecond duration through Thomson scatte
超短强激光与等离子体作用产生的高能电子束在快点火惯性约束聚变、新型同步辐射光源以及肿瘤治疗等领域有着重要的应用前景.在激光驱动电子加速中,有两种主要的加速机制:激光尾场加速(LWFA)和激光直接加速(DLA).迄今,激光尾场加速己在理论和实验研究上取得重大进展,而激光直接加速却没有引起广泛关注.而制约激光直接加速发展与广泛应用的一大缺点是其麦克斯韦式的能谱分布.
会议
在高能量密度物理和惯性约束核聚变研究中,离子在等离子体中的能损过程是一个非常重要的研究内容[1-2].特别在低能区,该过程的研究对于离子束快点火过程,阿尔法离子自持加热等过程具有重要的研究意义.同离子在常规物质中的能损相比,离子在等离子体中的能损更存在明显的差异.
会议
为了对硬X射线源进行高分辨率能谱测量,设计制造了两套可变探测距离的透射式柱面弯晶谱仪.用仿形弯曲方法自制了柱面弯晶,弯晶曲率半径和测谱范围分别为:R=150mm,10-56keV;R=300mm,16-90keV;谱仪适用的探测距离为200-1500mm.利用XOP程序计算了的弯晶积分衍射效率,结合成像板的响应函数计算了谱仪的本征探测效率;同时计算了谱仪的能谱分辨率.
会议
超强激光与等离子体相互作用形成的离子腔中电子的回旋振荡(betatron)与激光共振后形成的稳定周期结构为X射线辐射产生提供了一种新的选择.为了产生准直性更高甚至相干的辐射,小的电子回旋轨道半径是一个必要条件.当激光为圆偏振的时候,离子腔内螺旋进动的电子将在纵向产生很强的磁场.我们提出,沿此自生磁场方向施加一个外磁场后,通过减小共振对纵向速度的要求,能够较为有效地减小电子回旋轨道半径.我们使用单粒
会议
基于密度泛函理论的第一性原理,采用集团展开法和集团变分法研究了氢、氘及其混合物的面心结构物态方程;计算了高压下能带结构、弹性参数等热力学性质.同时,研究了高压下氢氘不同比例混合的晶体结构、晶格参数、形成焓及热力学稳定性等内容.研究结果表明氢、氘的面心结构和体心结构在低压下不能稳定存在;压强为4200GPa附近FCC结构比BCC结构比具有更高的稳定性,表明了压强依赖的混合与相分离特征.
采用一种改性的无皂乳液聚合法和分散聚合的方法,成功地制备出了微米粒径的单分散聚苯乙烯(PS)小球,利用场发射扫描电子显微镜(FSEM)、透射电子显微镜(TEM)对聚苯乙烯小球进行表征.实验结果表明PS粒径随苯乙烯用量增大而增大,随过硫酸钾用量增加、聚乙烯吡咯烷酮(PVP)用量增加、反应温度的增高而减小,随反应时间的增加变化不明显,因此,球粒径的主要由PVP调控.
2010年,我们提出了一种用冲击波测量技术诊断黑腔辐射温度和M带份额的方法[1].这种诊断方法首次在SGⅢ原型黑腔实验中得到了应用.在SGⅢ原型黑腔实验中,我们利用冲击波测量技术成功得到了黑腔中的辐射温度和M带份额.实验中采用铝和钛两种材料同时作为冲击波样品,利用两台可见光条纹相机分别测量两种样品中的冲击波速度.
会议