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本文介绍了提高矩形磁控阴极靶材利用率的方法,尤其利用磁场仿真技术获得优化的磁路结构,增加矩形平面阴极直线跑道刻蚀宽度,优化端部刻蚀深度使其与直线跑道刻蚀深度基本一致,从而将靶材整体利用率提高到40％以上.
磁场仿真在高靶材利用率矩形阴极设计中的应用
【摘 要】
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本文介绍了提高矩形磁控阴极靶材利用率的方法,尤其利用磁场仿真技术获得优化的磁路结构,增加矩形平面阴极直线跑道刻蚀宽度,优化端部刻蚀深度使其与直线跑道刻蚀深度基本一致,从而将靶材整体利用率提高到40％以上.
【机 构】
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杭州朗为科技有限公司,杭州,311112
【出 处】
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第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会
【发表日期】
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2017年3期
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