【摘 要】
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本研究利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并藉由适当之热处理,使薄膜为Co及TiOx之混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10min可得磁阻率为0.8％,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000℃热处理10 min可得磁阻率高达4％.
【机 构】
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虎尾科技大学材料科学与工程系;虎尾科技大学光电与材料科技研究所 虎尾科技大学光电与材料科技研究所
【出 处】
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中国颗粒学会2006年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会
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本研究利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并藉由适当之热处理,使薄膜为Co及TiOx之混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000℃热处理10min可得磁阻率为0.8％,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000℃热处理10 min可得磁阻率高达4％.
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