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本文介绍了以氮氢混合气体作为示踪气体的氮氢检漏仪的设计与实现方法。通过对氮氢检漏仪的原理、算法、结构及标定方式的深入研究，实现了对微小泄漏的定量检测，实现了差压检漏和氦质谱检漏方式之间更好的衔接。对降低空调、冰箱、汽车等领域微小泄漏检测的高昂成本提供了有效的解决方法。
氮氢检漏仪的设计与实现
【摘 要】
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本文介绍了以氮氢混合气体作为示踪气体的氮氢检漏仪的设计与实现方法。通过对氮氢检漏仪的原理、算法、结构及标定方式的深入研究，实现了对微小泄漏的定量检测，实现了差压
【机 构】
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博益(天津)气动技术研究所 300457
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
【发表日期】
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2011年期
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