气体微流量计相关论文
通过对分流法极高真空电离计校准系数的测量不确定度分量分析,建立了校准结果测量不确定度评定的数学模型,确定各分量对结果的贡献......
影响固定流导法气体微流量计测量下限的主要因素是真空管道及稳压室内表面放气，本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁......
为了研制全金属气体微流量计，本文设计了以波纹管为主体的全金属结构的变容室，并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用了多项......
本文介绍德国联邦物理技术研究院(PTB)研制的气体微流量计,用于连续膨胀法校准系统压力的产生,漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测......
介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案 ,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制......
介绍了恒压式气体微流量计的组成和校准原理。在对电容薄膜规做了热流逸效应实验的基础上,对流量计的测量不确定度进行了评估,给出......
介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验.实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9～4.76×10-4)Pa·m3/s,不......
在真空技术应用中,限流元件流导主要用于气体微流量计微小气体流量的产生、提供真空室动态标准压力及真空漏孔的校准。目前测量限......
采用虚拟仪器技术开发了一个温度的数据采集系统,并在高精度气体微流量计中得到的应用。详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计。......
从原理下定容式气体微流量计（ＣＶＦＭ）和带参考室的ＣＶＦＭ的流量测量误差进行了理论分析，测量过程中温度变化对ＣＶＦＭ的流量测量误差作用较大，是影响ＣＶＦＭ测量下......
主要介绍标准微流量计的性能测试。测试结果表明：气体流量的测量范围为１７．１×１０＾－５￣１．２２×１０＾－５Ｐａ．Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。......
介绍了利用气体微流量计的流量测量技术、采用PID和压力锯齿波动2种恒压控制模式测量小孔流导的原理和方法,并对2种控制模式的测量......
采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测控系统,并用于高精度气体微流量计。本文详细介绍了高精度气体流量计压力系统的工作......
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室......
本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理......
