论文部分内容阅读
研究了利用巴基管作形核形，在热丝辅助化学气相沉积条件下，金刚石在硬质合金上形核、生长、成膜的规律，也研究了刷巴基管－－沉积多次循环新工艺对金刚石形核、生长、成膜和膜与基度粘结力的影响。用扫描电子显微镜，拉曼光谱和洛氏硬度计检验金刚石的质量和膜与基底粘结力。实验结果表明，在巴基管作用条件下，金刚石形核密度为１０〈’８〉数量级，成膜期为４０￣５０ｍｉｎ。采用新工艺，可在２０ｍｉｎ内使形核率达最大值，成膜时间缩短１０ｍｉｎ，并提高了膜与基底的结合力。