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本文论述的洁净室其作用是控制悬浮粒子浓度,以便在关键的洁净室环境中得到满意的使用效果,并且在能耗方面也是有效利用.高效的空气系统有助于实现洁净室的高性能,并影响着洁净室工业的商业底线.
洁净室气流设计及其经济意义
【摘 要】
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本文论述的洁净室其作用是控制悬浮粒子浓度,以便在关键的洁净室环境中得到满意的使用效果,并且在能耗方面也是有效利用.高效的空气系统有助于实现洁净室的高性能,并影响着洁
【机 构】
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美国加利福尼亚94720伯克莱,劳伦斯巴克莱国家实验室
【出 处】
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第五届中国国际(北京)洁净技术论坛
【发表日期】
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2002年11期
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