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该文主要介绍了用逐步扫描方式检测刻线线宽。它以线阵CCD为工具，以计量光栅作基准，通过计算机采集，用空间拟合函数法计算处理后，自动检测刻线线间距。
用扫描方式测量刻线线间距
【摘 要】
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该文主要介绍了用逐步扫描方式检测刻线线宽。它以线阵CCD为工具，以计量光栅作基准，通过计算机采集，用空间拟合函数法计算处理后，自动检测刻线线间距。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所(成都)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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