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该文讨论用等离子体喷射方法，在石墨衬底上生长金刚石膜，并和在钼衬底上生长的金刚石膜作了比较；分析了在石墨衬底上生成质量较好的金刚石膜的原因。对在石墨衬底上生成的金刚石膜做了测试分析，Ｘ射线衍射图显示，金刚石膜晶体取向为１１０，热导率达到１４．５Ｗ（ｃｍＫ）〈’－１〉
等离子体喷射法在石墨衬底上沉积金刚石膜的探讨
【摘 要】
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该文讨论用等离子体喷射方法，在石墨衬底上生长金刚石膜，并和在钼衬底上生长的金刚石膜作了比较；分析了在石墨衬底上生成质量较好的金刚石膜的原因。对在石墨衬底上生成的金刚石
【机 构】
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省科学院机电一体化中试基地(石家庄)
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年期
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