【摘 要】
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静电微惯性传感器是微机电系统(MEMS)的重要器件，是目前发展最快的MEMS产品之一，其功能是测量运动物体的质心运动和姿态运动以应用于惯性导航，驱动和检测方式分别为MEMS领域
【机 构】
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上海应用技术学院,机械工程学院,上海
【出 处】
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第九届全国动力学与控制青年学者研讨会
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静电微惯性传感器是微机电系统(MEMS)的重要器件，是目前发展最快的MEMS产品之一，其功能是测量运动物体的质心运动和姿态运动以应用于惯性导航，驱动和检测方式分别为MEMS领域广泛采用的静电驱动和电容检测。静电微惯性传感器主要包括静电微加速度计(检测加速度)和振动式微机械陀螺(检测角速度)，均为以谐振原理实现检测的典型微传感器。
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