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该文介绍一种新型的并联柔性铰链压电陶瓷驱动器，该驱动器结构对称，刚度大，理论上无侧向耦合，输出位移大于１００μｍ。机构内部安装微位移传感器，通过位置闭环控制解决了压电陶瓷存在的非线性、迟滞和蠕变，使系统的静态和动态性能大大提高。驱动器闭环控制重复精度为±０．０２μｍ。
一种新型的压电陶瓷驱动大行程精密定位机构的研究
【摘 要】
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该文介绍一种新型的并联柔性铰链压电陶瓷驱动器，该驱动器结构对称，刚度大，理论上无侧向耦合，输出位移大于１００μｍ。机构内部安装微位移传感器，通过位置闭环控制解决了压电陶瓷存在的非
【机 构】
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滨工业大学机器人研究所
【出 处】
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中国第五届机器人学术会议
【发表日期】
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1997年期
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