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综述了飞秒激光的特点,利用飞秒激光进行微纳加工的原理及其特色,飞秒激光加工的类型,及其在微电子学、微光学和微机械学中的应用,并介绍了天津大学超快激光实验室在飞秒激光微纳米加工研究中取得的一些进展.
飞秒激光微纳米加工技术
【摘 要】
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综述了飞秒激光的特点,利用飞秒激光进行微纳加工的原理及其特色,飞秒激光加工的类型,及其在微电子学、微光学和微机械学中的应用,并介绍了天津大学超快激光实验室在飞秒激光
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院(天津)
【出 处】
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2003年中国机械工程学会年会
【发表日期】
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2003年11期
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