非晶硅太阳电池ZnO/Al复合背反射电极的研究

来源 :中国第七届光伏会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:snowpine15505
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本文首先就低温(140℃)下用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法沉积ZnO:Al透明导电膜的工艺条件进行了优化研究.然后在单结(glass/SnO<,2>/pin/)或双结(glass/SnO<,2>/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70-700nm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n<+>/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1-2mA/cm<2>,光电转化效率提高1-2﹪(绝对效率),小点电池效率达到9.5﹪.
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