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本文讨论了光学光刻进一步发展遇到的技术问题,介绍了下一代光刻——极紫外光刻(EUV)的关键技术,并从整机研制考虑,初步探讨了各关键单元技术设计指标.
下一代光刻技术—极紫外光刻(EUV)
【摘 要】
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本文讨论了光学光刻进一步发展遇到的技术问题,介绍了下一代光刻——极紫外光刻(EUV)的关键技术,并从整机研制考虑,初步探讨了各关键单元技术设计指标.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所(成都)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年10期
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