【摘 要】
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金刚石薄膜具有一系列优异性能，它具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、低的摩擦系数、低热膨胀系数和化学稳定性以及极好的抗酸、抗碱、抗各种腐蚀性气体侵蚀的优异性能，从而使其在各个技术领域得到了广泛的应用。然而，由于常规CVD金刚石薄膜晶粒度较大，呈柱状生长，表面较粗糙，同时高硬度表面也给后续抛光处理带来很大困难，直接限制金刚石薄膜的推广应用和产业化进程。因此，许多研究致力于改善常
【机 构】
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安徽建筑工业学院机械与电气工程学院学院，合肥，230022 盐城工学院机械工程学院，盐城，2240
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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金刚石薄膜具有一系列优异性能，它具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、低的摩擦系数、低热膨胀系数和化学稳定性以及极好的抗酸、抗碱、抗各种腐蚀性气体侵蚀的优异性能，从而使其在各个技术领域得到了广泛的应用。然而，由于常规CVD金刚石薄膜晶粒度较大，呈柱状生长，表面较粗糙，同时高硬度表面也给后续抛光处理带来很大困难，直接限制金刚石薄膜的推广应用和产业化进程。因此，许多研究致力于改善常规金刚石薄膜的表面粗糙度和后续抛光技术。本文采用偏压增强热丝CVD（HFCVD）法，通过引入惰性气体Ar，在预处理后的硬质合金衬底表面成功沉积了纳米金刚石复合涂层。对金刚石复合涂层的表面形貌、成分、表面粗糙度以及附着强度进行了分析和研究。
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