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〈100〉正面开口快速湿法腐蚀释放悬浮结构的研究
设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系。在水浴温度80°C条件下,120min后,〈100〉开口......
期刊
正面腐蚀
悬浮结构
各向异性
front-etched
suspending structure
anisotropic
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