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SOI传感器相关论文

SOI传感器的现状和发展趋势

SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI......

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SOI传感器发展趋势发展现状 SOI晶片力学传感器化学传感器光传感器磁传感器硅氧化物绝缘体 silicon on insulator (SOI)

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