PECVD设备相关论文
对管式PECVD设备推舟机构的现有结构进行优化设计,利用ANSYS软件对优化后的结构进行仿真分析,从而获取大产能条件下各组成部件形变......
当前,PECVD 设备已经在以 LED 设备制造为代表的诸多行业中得到应用,但其设备管理过程中仍存在一些困难,需要应 用 FDC 系统加以解......
本文采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制得氮化硅和氢化非晶硅薄膜，对PECVD设备中基板支撑梢区域的膜质进行了研究。结果......
在太阳能电池制造过程中，等离子增强型化学气相沉积(PECVD)这一道工序是必须而且非常重要的。而大多数传统PECVD设备都会用石墨框来......
