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F等离子体处理功率相关论文
F等离子体处理功率对AlGaN/GaN HEMT器件的影响
通过分步光刻技术将不同功率F等离子体处理HEMT(高电子迁移率晶体管)和常规耗尽型HEMT制备在同一原片上。通过对比得出。F等离子体......
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AlGaN/GaN HEMT
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F等离子体处理功率
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