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Bosch刻蚀相关论文
粗糙侧壁对硅通孔互连结构高频性能的影响
详细分析了由Bosch刻蚀形成的侧壁形貌的粗糙度(Sidewall Roughness)对硅通孔(TSV)互连结构高频性能的影响,并通过全波电磁场仿真......
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