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AlN位错相关论文
适用于高频SAW器件高品质AlN薄膜研究与表征
随着通讯系统和其他相关系统高速发展,声表面波的应用频率也进入了高频(5GHz以上)时代,相比于氧化锌、铌酸锂等普遍使用的压电薄膜材料......
学位
AlN位错
声表面波(SAW)
择优取向
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