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Al掩模相关论文

聚合物阵列波导光栅复用器的研究

介绍了聚合物阵列波导光栅(AWG)复用器的基本原理,进而用Al掩模制做聚合物AWG光波导.结果表明:AWG器件的制做工艺,Al掩模技术明显......

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阵列波导光栅 AWG 复用器光波导 Al掩模单模铝掩模聚合物光学器件 AluminumFabricationMasksOptical waveguid

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