28纳米相关论文
2017年以来,国内半导体制造进入28纳米制程量产阶段。很多半导体代工厂因此引入Single Wafer机台,该类型机台所使用化学品量与制程......
期刊
摘要：不久前，赛迪顾问发布了《中国IC 28纳米工艺制程发展》白皮书，从白皮书中可以看到，28纳米工艺将在中国持续更长时间，中芯国际一高......
随着集成电路的深入发展,半导体器件对关键线宽(CD)的要求趋于严格,本文着眼于对金属硬质掩膜层刻蚀的研究。通过实验找到了影响硬......
