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铝镓氮外延膜相关论文
蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延膜的应变分析
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备了不同Al组分含量的2μm厚Al_xGa_(1-x)N外延膜,通过透射电镜定性分析了外延膜中的位错......
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外延膜
铝镓氮外延膜
MOCVD
纤锌矿结构
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定量分析
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