超薄Au膜相关论文
用直流磁控溅射在室温Si基片和载玻片上制备了厚度为7.6~81.3nm超薄Au膜,用X射线衍射及数字电桥对薄膜的微结构和电学性质进行了测......
采用直流磁控溅射技术制备超薄Au膜,用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌。功率谱密度计算结果显示,随着溅射时间增加,高频段曲线拟......
