采用调制偏压射频磁控溅射技术在多晶ＨａｓｔｅｌｏｙＣ金属基带上制备钇稳定的ＺｒＯ２薄膜（ＹＳＺ），得到了ｃ轴织构和部分平面内双轴织构的ＹＳＺ薄膜。用Ｘ射线衍射θ２θ......