诱导吸杂相关硕士博士期刊学术论文

由于铸造多晶硅生长工艺特点，硅晶体自发成核以（111）晶向为主，同时Fe杂质的分布在铸锭的头部和尾部高、中间低；硅片少子寿命呈现头部和......