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介绍了一种大范围二维纳米检测系统。为了获得二维光学信号,提出了一种耦合差动式干涉的新方法,并据此设计了一套光学8倍频的耦合差......
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提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系......