立式旋转盘反应器相关论文
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为了降低Ⅲ族氮化物材料和器件的成本,必须开发大尺寸的Ⅲ族氮化物MOVPE生长的反应器.本文报道了EMCORE公司的一种带有旋转盘的立......
报道了EMCORE公司的旋转盘反应器,或TurboDisc反应器,这是一种带有旋转盘的立式反应器.衬底片放置在高速旋转的盘上并被加热到合适......
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