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纳米金刚石表面准原子层沉积硅镀层
采用准原子层沉积(Quasi Atomic Layer Deposition-QALD)技术在纳米金刚石表面沉积硅镀层。通过硅烷气体在纳米金刚石颗粒表面饱和吸......
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nanodiamond silicon film QALD thermal stability
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