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硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究
采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型......
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硅基PCR
生物芯片
微型加热器
温度传感器
聚合酶链式反应
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