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新型真空闸板阀的结构设计与优化

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闸板阀结构设计虚拟装配数学模型有限元洁净真空

洁净真空系统中污染物扩散沉降规律研究

真空系统中的污染物质在一定条件下会在真空中释放,经扩散,吸附、沉降到真空室、光学元件等表面,导致系统污染、元件性能下降和其......

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洁净真空污染物扩散模拟

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