氟钛凝结缺陷相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

氟钛凝结缺陷相关论文

基于金属硬掩膜集成方案的铜互连双大马士革结构刻蚀工艺的开发及优化

随着集成电路互连线特征尺寸的进一步减小,基于铜和低K介电材料的多层互连技术成为降低互连RC延迟的必然选择。研究表明铜互连双大......

学位

铜互连低K介电材料双大马士革金属硬掩膜一体化刻蚀氟钛凝结缺陷光诱导电化学铜腐蚀

看过本文同时还关注